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Informations clés :

  • Localisation : Rue A. Werner
  • Préparation des échantillons
    • Taille max. des échantillons :
      • ⌀ < 5 cm ; Hauteur < 4 cm
    • Mode transmission :
      • Épaisseur < 100 nm
      • Diamètre < 3 mm
    • Source électronique : Canon Schottky à émission de champ
  • Modes de fonctionnement :
    • Haut vide : observation standard à très haute résolution
    • Low vacuum : jusqu’à 300 Pa (N₂), pour échantillons isolants
    • Transmission : imagerie BF, DF, HAADF
  • Résolution :
    • Haut vide : 0,5 nm
    • Low vacuum : 1,4 à 4 nm (selon pression)
    • Transmission : 0,5 nm
  • Accessibilité : Non accessible en libre-service

 

Microscope électronique à balayage – JEOL JSM-7900F

Un SEM haut de gamme à émission de champ pour l’imagerie et l’analyse de surface en haute résolution, y compris en mode transmission.

Pour quelles utilisations ?

Ce microscope est destiné à l’imagerie de haute précision de surfaces, à l’analyse de matériaux isolants sans métallisation, ainsi qu’à des observations fines en mode transmission. Il permet aussi des analyses chimiques élémentaires précises par EDX.

Domaines d’application :

  • Nanomatériaux, polymères, céramiques
  • Matériaux isolants et conducteurs
  • Films minces et surfaces fonctionnalisées
  • Microélectronique, catalyse
  • Sciences des matériaux, physique, chimie analytique

Types de mesures disponibles :

  • Imagerie SEM haute résolution : jusqu’à 0,5 nm en mode haut vide
  • Observation d’échantillons isolants en low vacuum sans métallisation
  • Imagerie en transmission (BF, DF, HAADF) pour objets fins
  • Analyse EDX :
    • Détection à partir du bore
    • Quantification à partir du fluor
    • Cartographies élémentaires
  • Décontamination des échantillons par plasma cleaner intégré