Spectroscopie de Photoélectrons X

La plateforme XPS est dédiée à l’analyse chimique élémentaire et fonctionnelle de l’extrême surface des matériaux.
La spectroscopie de photoélectrons induits par rayons X (XPS) permet de sonder les 3 à 9 premiers nanomètres de la surface.

L’équipement principal est le spectromètre SES-2002 (VG SCIENTA) équipé d’une source RX monochromatique et d’un canon à électrons pour l’analyse des matériaux isolants. Une chambre de préparation accolée au spectromètre permet de réaliser différents traitements « in-situ ».

Types de mesures disponibles :

• Spectre XPS général permet :
  • d’identifier tous les éléments (sauf H et He)
  • de déterminer les concentrations atomiques des éléments avec une détection limite de 0.1 %.
• Spectres XPS en haute résolution permettent de déterminer :
  • la nature des liaisons, l’environnement local des atomes.
  • le degrés d’oxydation des éléments.
• Spectres ARXPS angulaires et/ou un décapage ionique permettent :
  • la mise en évidence de ségrégations superficielles
  • de faire un profilage en profondeur