XPS VG SCIENTA SES-2002

Types d’échantillons acceptés

Tous types d’échantillons solides (état physique) : poudre, wafer, tissu, film, monocristal, nanoparticule, massif, etc ..
Matériaux organiques, inorganiques ou hybrides
Métaux, graphite, zéolites, fibres, céramiques, couches minces

Localisation : rue Jean Starcky
Source RX monochromatique :Al Kα (1486,6 eV) avec source VG Scienta SAX100 et monochromateur VG Scienta XM780
Analyseur : hémisphérique, rayon 200 mm
Vide de fonctionnement : Ultra Haut Vide (UHV) entre 10⁻⁹ et 10⁻¹⁰ mbar
Détecteur : MCP équipé d’un écran phosphore et une caméra CCD pour imagerie
Résolution énergétique : 0,4 eV (au niveau de Fermi)
Canon à électrons (Flood Gun) : VG Scienta FG300 pour l’analyse d’échantillons non conducteurs
Éléments détectés : tous les éléments à partir du numéro atomique Z=3 (excepté H et He) avec une concentration > 0,1 %
Profondeur analysée : 3 à 9nm, analyse de surface
Dimensions des échantillons : entre (6×4mm) et (30×30mm) , hauteur max : 16mm
Accessibilité : non accessible en libre-service
Exploitation des données : par le responsable ou le demandeur après formation au logiciel CasaXPS

Spectromètre XPS VG SCIENTA SES-2002

Identification et quantification des éléments chimiques présents à la surface des matériaux
Étude des états chimiques et des liaisons atomiques
Caractérisation des couches minces, revêtements et films
Analyse de contamination et d’oxydation des surfaces
Études de modifications chimiques sous traitement thermique ou ionique

Spectre XPS général permet :
- d’identifier tous les éléments (sauf H et He)
- de déterminer les concentrations atomiques des éléments avec une détection limite de 0.1 %.
Spectres XPS en haute résolution permettent de déterminer :
- la nature des liaisons, l’environnement local des atomes.
- le degrés d’oxydation des éléments.
Spectres ARXPS angulaires et/ou un décapage ionique permettent :
- la mise en évidence de ségrégations superficielles
- de faire un profilage en profondeur.

Décapage ionique à l’argon (Ar+) : nous possédons un canon à ions qui permet le décapage des échantillons pour faire des analyses en profondeur ou le nettoyage de la surface des échantillons.
Traitement thermique :un dispositif de chauffage de l’échantillon est en place qui permet de monter jusqu’à 850°C sous UHV ou sous atmosphère contrôlée.
Analyse des gaz résiduels par un spectromètre de masse.
Adsorption de gaz : nous sommes équipés d’une ligne de gaz qui permet de faire de l’adsorption de gaz jusqu’à pression atmosphérique.

Une valise de transport dédiée aux échantillons qui peuvent réagir avec l’air. Elle permet de transférer les échantillons sensibles, préparés en boite à gants sous flux argon et ensuite analyser en XPS sans contact ultérieur avec l’atmosphère ambiant.