Des chercheurs de l’Institut de Science des Matériaux de Mulhouse (CNRS / UHA), en collaboration avec une équipe du National Chiao Tung University à Hsinchu (Taiwan), ont montré que l’utilisation d’une source lumineuse dans l’infrarouge permettait de fabriquer en une seule étape des structures micrométriques de TiO2 amorphes ou cristallisées à partir de solutions de précurseurs d’oxyde de titane. De plus, sous atmosphère inerte, ils ont mis en évidence la formation de carbone au sein du matériau, permettant d’obtenir des microstructures à base de nanocomposites TiO2/C présentant un comportement piézorésistif. Ces propriétés ont été mises à profit pour réaliser un capteur de pression miniaturisé par écriture laser directe. Ce résultat remarquable permet d’envisager d’intégrer très simplement et sur demande des microstructures complexes aux propriétés électriques modulables dans des dispositifs microélectroniques. Ces travaux viennent d’être publiés dans la revue Advanced Materials.
Vers une intégration simplifiée de micro-capteurs de pression à base de TiO2 par écriture laser directe
